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清洁物流

IHI的洁净物流事业从90年代中叶起步,发展至今已经有一套非常完整的面向平板显示器的产品,其中有面向LTPS、TFT的高速热处理装置、离子碰撞装置,以及面向液晶、等离子显示基板生产线的保管设备和传送设备。